中欣晶圓的半導(dǎo)體硅晶圓具有各種規(guī)格和不同材料特性以及表面處理方法。
2021年8月17日17點05分是一個激動人心的時刻，中欣晶圓首根12寸450kg投料晶棒完美問世！該晶棒凈重437.7kg，體長2900mm，身長2400mm，良率達到87.6%，相較于之前300kg投料量時的良率提高了4.6個百分點，亦可有效實現(xiàn)降本增效。
中欣晶圓“超重”晶棒的誕生究竟有何優(yōu)勢？
1. 實現(xiàn)工藝提升
在晶棒拉制過程中，投料越多則對工藝、爐臺控制精度都會有更高的要求。由于32寸石英坩堝一次性最多能裝340kg的多晶硅料，所以投料量增加至450kg必須要采用二次投料技術(shù)來實現(xiàn)。自中欣晶圓12寸450kg投料晶棒研發(fā)項目成立以來，研發(fā)團隊在前期8寸二次投料基礎(chǔ)之上，根據(jù)12寸單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計配套使用的二次投料工裝，即石英加料器、加料器小車、法蘭盤等部件。順利完成所有部件組裝后，研發(fā)小組在空爐情況下進行試用，并最終成功實現(xiàn)公司第一根12寸450kg投料晶棒的拉制，帶動工藝提升！未來中欣晶圓12寸450kg投料晶棒將會形成標準化量產(chǎn)。
2. 有效提升產(chǎn)量和良率
大質(zhì)量晶棒的拉制成功使得中欣晶圓月產(chǎn)量得以提升，與此同時，大質(zhì)量晶棒長度增加提升了單根晶棒的可利用率，有助于提升12寸硅片的良率和穩(wěn)定性。
3. 實現(xiàn)降本增效
大質(zhì)量晶棒在直徑相同的情況之下，意味著長度的增加，頭料和尾料相應(yīng)減少，從而能夠提升晶棒的可利用率，實現(xiàn)降本增效；另一方面投料量增加，使得在使用同樣價格的石英坩堝及輔材的情況下產(chǎn)出增加，節(jié)省了石英坩堝和輔材使用量，從而降低成本。
