硅晶圓作為集成電路基底材料,具有電阻率、氧碳含量可控的特點(diǎn)。單晶錠經(jīng)過(guò)線(xiàn)切割、磨片、拋光、清洗等工序的作用,得到具有特定厚度和幾何參數(shù)以及表面潔凈的硅晶片。
硅晶圓作為集成電路基底材料,具有電阻率、氧碳含量可控的特點(diǎn)。單晶錠經(jīng)過(guò)線(xiàn)切割、磨片、拋光、清洗等工序的作用,得到具有特定厚度和幾何參數(shù)以及表面潔凈的硅晶片。
由 Ferrotec 日本磁性技術(shù)控股股份有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、上海申和投資有限公司共同出資設(shè)立。
2020 年經(jīng)過(guò)內(nèi)部調(diào)整,整合集團(tuán)旗下寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司及上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司的業(yè)務(wù),中欣晶圓形成以杭州為總部的集團(tuán)化運(yùn)營(yíng),實(shí)現(xiàn)了從半導(dǎo)體單晶晶棒拉制到4-12 英寸半導(dǎo)體硅片加工的完整生產(chǎn)。目前中欣晶圓具備年產(chǎn)240 萬(wàn)片12 英寸、480 萬(wàn)片8 英寸、480 萬(wàn)片4-6 英寸拋光片產(chǎn)能。2021 年浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司成立,主要從事8-12 英寸外延片的研發(fā)與生產(chǎn)制造,具備年產(chǎn)360 萬(wàn)片12英寸、240 萬(wàn)片8 英寸外延片產(chǎn)能,有望成為國(guó)內(nèi)最大的硅外延片生產(chǎn)基地。2022 年浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體材料有限公司成立,主要從事12 英寸拋光片的研發(fā)與生產(chǎn)制造,具備年產(chǎn)360 萬(wàn)片12 英寸拋光片的生產(chǎn)能力。