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  水，作為生命之源，生產(chǎn)之要，其珍貴性不言而喻。而在這個(gè)水資源日益緊張的時(shí)代，節(jié)水行動(dòng)顯得尤為重要。日前，上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司“工業(yè)用水重復(fù)利用項(xiàng)目”榮獲2023年上海市工業(yè)水重復(fù)利用優(yōu)秀案例優(yōu)勝獎(jiǎng)。

  自2017年后，上海工廠的自來水消耗量上升明顯，逐月累計(jì)漲幅達(dá)75.87%，已連續(xù)數(shù)月超出用水量管控指標(biāo)。隨著公司產(chǎn)能的增加，針對制造后期產(chǎn)能提升和新車間投產(chǎn)的需求，急需解決用水量超標(biāo)的問題。通過工廠的水平衡，從生產(chǎn)的技術(shù)工藝、管網(wǎng)的滴跑漏、節(jié)水工藝上降低公司的自來水使用量。

  該項(xiàng)目包括4個(gè)系統(tǒng)，8寸一期洗凈水回用系統(tǒng)、6/8寸二期洗凈機(jī)洗凈水回收系統(tǒng)、純水站RO濃水回收再用系統(tǒng)及廢水站酸堿廢水回收再用系統(tǒng)。2018年通過改進(jìn)生產(chǎn)工藝，將8寸車間洗凈機(jī)清洗槽清洗水回收，經(jīng)過處理后用于純水站制純水。在8寸一期洗凈水回用系統(tǒng)裝置運(yùn)行穩(wěn)定的情況下，再對6/8寸車間的含雙氧水和含氟的清洗水進(jìn)行回收，收集處理后的再生水供應(yīng)到純水站原水箱，用于制作純水。8寸一期洗凈水回用系統(tǒng)及6/8寸二期洗凈機(jī)洗凈水回收系統(tǒng)裝置重復(fù)利用率皆達(dá)到82.5%。此外，純水站RO濃水回收再用系統(tǒng)于2020年通過技術(shù)升級提升了處理能力，重復(fù)利用率達(dá)到75%。2022年，廢水站的酸堿廢水回收再用系統(tǒng)也取得顯著成效，通過工藝處理后的再生水達(dá)到自來水標(biāo)準(zhǔn)并供純水站使用，重復(fù)利用率達(dá)到70%。通過中水回用節(jié)水管理措施，上海中欣晶圓取得了良好的節(jié)水成效，節(jié)水量可達(dá)119.2萬立方米/年，工業(yè)水重復(fù)利用率達(dá)52.5%左右。通過不斷完善節(jié)水管理制度，取得良好的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。

  作為一家半導(dǎo)體硅片研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)，中欣晶圓一直將保護(hù)地球環(huán)境活動(dòng)視為重要的經(jīng)營課題之一，積極推進(jìn)節(jié)能及清潔能源技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用，為解決全球環(huán)境問題貢獻(xiàn)出我們的一份力量。中欣晶圓于2023年榮膺“ESG實(shí)踐先鋒企業(yè)”的榮譽(yù)稱號。未來，我們將繼續(xù)以節(jié)水、節(jié)能、環(huán)保為己任，為行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展貢獻(xiàn)力量！