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漢虹12英寸半導(dǎo)體單晶爐榮獲上交會(huì)國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會(huì)金獎(jiǎng)
2023.06.27

6月17日，中國(上海)國際技術(shù)進(jìn)出口交易會(huì)圓滿落幕。會(huì)上，漢虹12英寸半導(dǎo)體單晶爐憑借其先進(jìn)的技術(shù)榮獲國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會(huì)金獎(jiǎng)。


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中國(上海)國際技術(shù)進(jìn)出口交易會(huì)(以下簡稱“上交會(huì)”)是經(jīng)國務(wù)院批準(zhǔn)，由商務(wù)部、科技部、國家知識產(chǎn)權(quán)局和上海市政府共同主辦，聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、聯(lián)合國開發(fā)計(jì)劃署、世界知識產(chǎn)權(quán)組織支持，是我國首個(gè)集技術(shù)展示和交易服務(wù)為一體的國家級、國際性、綜合性展會(huì)，在吸引全球企業(yè)發(fā)布最新創(chuàng)新成果、促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化、建設(shè)國際創(chuàng)新合作網(wǎng)絡(luò)等方面發(fā)揮了積極作用。漢虹憑借其前沿的半導(dǎo)體裝備科技榮獲國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會(huì)金獎(jiǎng)。


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漢虹FT-CZ3212型12英寸半導(dǎo)體單晶爐研發(fā)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備單晶爐制造的突破， 漢虹12英寸半導(dǎo)體單晶爐實(shí)現(xiàn)了：

1、低能耗32英寸大尺寸熱場，GSim熱解析全新熱場結(jié)構(gòu)；

2、設(shè)計(jì)有去除氧化物的真空排氣管道，可以自動(dòng)清除管道內(nèi)的氧化物；

3、全新氣囊密封水平開閉式真空水冷旋板閥，解決閥體內(nèi)部因受空間影響產(chǎn)生的工藝氣體紊亂，造成在此段晶體直徑波動(dòng)大，容易NG的難題；

4、雙層水冷套結(jié)構(gòu)，集冷卻水和工藝氣體吹掃，有效冷卻晶棒的同時(shí)可以清掃氧化物，提高晶體的質(zhì)量；

5、液面穩(wěn)定控制系統(tǒng)，采用德國高精度激光液口距檢測反饋控制系統(tǒng)，能精確控制液面到熱屏距離在設(shè)定距離H±0.5mm，減少液面波動(dòng)對拉晶的影響；

6、可升降水冷軸提升熱屏，采用高精度直性模組；

7、磁場升降采用四軸同步升降系統(tǒng)，升降結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，解決了升降時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)和異響問題；

8、一體式自定心重型籽晶夾頭，籽晶與夾頭間采用一高強(qiáng)度石墨套過渡，石墨套外錐與夾頭配合，內(nèi)錐與籽晶配合，采用錐度連接，自動(dòng)定心找正，解決了籽晶與夾頭咬死問題。

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通過創(chuàng)新，使得12英寸單晶爐設(shè)計(jì)走在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的前列。