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杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)公示
2022.06.02

      杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目擬在杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)杭州中欣晶圓現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)實(shí)施,根據(jù)《浙江省建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理辦法》及《環(huán)境影響評(píng)價(jià)公眾參與暫行辦法》的規(guī)定,對(duì)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)進(jìn)行公示。

一、聯(lián)系單位情況

1、建設(shè)單位名稱及聯(lián)系方式

單位名稱:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司

單位地址:杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)

聯(lián)系人:劉工                      聯(lián)系電話:15068745682

2、環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位名稱和聯(lián)系方式

環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位:浙江九寰環(huán)??萍加邢薰?/p>

地址:杭州市西湖區(qū)文一路202號(hào)     郵編:310012

聯(lián)系電話:13646836516              郵箱:774198362@qq.com

3、審批部門(mén)聯(lián)系方式

單位名稱:杭州市生態(tài)環(huán)境局錢(qián)塘分局受理中心

單位地址:杭州錢(qián)塘新區(qū)江東大道3899號(hào)大江東辦事服務(wù)中心3樓

聯(lián)系電話:0571-82987912            傳真:0571-82987920

二、項(xiàng)目基本情況

1、項(xiàng)目名稱:8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目;

2、項(xiàng)目性質(zhì):技改;

3、建設(shè)單位:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司;

4、項(xiàng)目投資:102059萬(wàn)元;

5、項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn):杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)杭州中欣晶圓現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi);

6、建設(shè)規(guī)模與內(nèi)容:本項(xiàng)目不新增產(chǎn)能。本次主要技改內(nèi)容如下:①通過(guò)引入自動(dòng)倉(cāng)庫(kù)管理系統(tǒng)、洗凈機(jī)自動(dòng)上下料系統(tǒng)、自動(dòng)檢查臺(tái)等先進(jìn)軟硬件設(shè)備,對(duì)現(xiàn)有8英寸生產(chǎn)線工藝進(jìn)行改進(jìn),提高生產(chǎn)效率及產(chǎn)品品質(zhì);②購(gòu)置AP-CVD、LP-CVD、氬退火爐等設(shè)備,在原來(lái)12英寸生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上,增加氧化硅背封拋光片(重?fù)剑⒍嗑П撤鈷伖馄ㄖ負(fù)剑?、氬氣退火拋光片(輕摻)等產(chǎn)品規(guī)格;③新增一套制氮系統(tǒng);④現(xiàn)有氨水、雙氧水、混酸等儲(chǔ)存方式由桶裝改為儲(chǔ)罐裝。

三、敏感點(diǎn)目標(biāo)分布:

本項(xiàng)目周邊敏感點(diǎn)目標(biāo)分布情況匯總?cè)缦卤恚?/p>

表1   本項(xiàng)目周邊敏感點(diǎn)目標(biāo)分布情況

類別

保護(hù)目標(biāo)名稱

UTM坐標(biāo)/m

保護(hù)

對(duì)象

保護(hù)內(nèi)容

環(huán)境功能區(qū)

相對(duì)廠址方位

相對(duì)廠界距離/m

X

Y

大氣

環(huán)境

新江村

255895.5

3360599.3

居民區(qū)

約2265人

二類空氣環(huán)境功能區(qū)

西側(cè)

1600   m

江東村

255872.8

3358847.9

居民區(qū)

約2229人

西南側(cè)

1970   m

浪琴灣住宅區(qū)

258432.4

3358086.4

居民區(qū)

約3000人

南側(cè)

2500   m

春雷村

260164.4

3358733.6

居民區(qū)

約1998人

東南側(cè)

2030   m

春園村

260549.9

3357788.4

居民區(qū)

約843人

東南側(cè)

2740   m

環(huán)境

風(fēng)險(xiǎn)

新江村

255895.5

3360599.3

居民區(qū)

約2265人

/

西側(cè)

1600   m

江東村

255872.8

3358847.9

居民區(qū)

約2229人

西南側(cè)

1970   m

浪琴灣住宅區(qū)

258432.4

3358086.4

居民區(qū)

約3000人

南側(cè)

2500   m

春雷村

260164.4

3358733.6

居民區(qū)

約1998人

東南側(cè)

2030   m

春園村

260549.9

3357788.4

居民區(qū)

約843人

東南側(cè)

2740   m

江東幼兒園

255352.2

3359501.9

學(xué)校

約200人

西南側(cè)

2750   m

新圍初級(jí)中學(xué)

255306.6

3358113.0

學(xué)校

約1000人

西南側(cè)

3600   m

錢(qián)塘區(qū)政府

258478.8

3357503.2

辦公

約300人

南側(cè)

2960   m

義蓬第三小學(xué)

260749.6

3358045.7

學(xué)校

約500人

東南側(cè)

3640   m

地表水

錢(qián)江直河

/

/

/

/

IV類水環(huán)境功能區(qū)

東側(cè)

緊鄰

七橫河

/

/

/

/

南側(cè)

緊鄰

聲環(huán)境

廠址周圍200m范圍內(nèi)無(wú)聲環(huán)境敏感點(diǎn)

3類聲環(huán)境功能區(qū)

/

/

土壤

廠址周圍200m范圍內(nèi)周圍耕地

/

/

/

四、污染防治措施情況:

本項(xiàng)目所采取的主要污染防治措施匯總情況見(jiàn)表2。

表2  本項(xiàng)目主要污染防治措施匯總表

                                     內(nèi)容

類型

主要內(nèi)容

預(yù)期治理效果

廢氣

CP清洗廢氣、FBA2車間新增氨水罐呼吸廢氣

一級(jí)酸洗后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA001

《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93

FBA2車間新增混酸儲(chǔ)罐呼吸廢氣

一級(jí)堿噴淋后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA003

《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)

CVD反應(yīng)廢氣、CVD反應(yīng)倉(cāng)清洗廢氣、退火爐托盤(pán)及爐管清洗廢氣

一級(jí)堿噴淋+一級(jí)氧化反應(yīng)塔+二級(jí)還原反應(yīng)塔處理后經(jīng)42m高高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA008

《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)

FBA1車間新增氨水罐呼吸廢氣

一級(jí)酸洗后經(jīng)42m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA009

《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93

端面處理廢氣、AP-CVD托盤(pán)清洗廢氣

一級(jí)堿噴淋后經(jīng)42m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA010

《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)

污水站廢氣

一級(jí)酸噴淋+一級(jí)堿噴淋后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA016

《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93

廢水

酸堿廢水

酸堿廢水預(yù)處理

分別經(jīng)預(yù)處理后進(jìn)入末端生化處理設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)納管排入臨江污水處理廠

《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)中表1間接排放限值

含氨廢水

含氨廢水預(yù)處理

研磨廢水

研磨廢水預(yù)處理

含氟廢水

含氟廢水預(yù)處理

其他廢水

/

地下水

做好分區(qū)防滲工作

防治地下水污染

噪聲

設(shè)備選型時(shí),選擇低噪聲設(shè)備;

設(shè)備安裝在室內(nèi),為振動(dòng)設(shè)置減震基礎(chǔ),隔聲罩等

廠界達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中3類標(biāo)準(zhǔn)

固廢

各類廢物收集后暫存在暫存場(chǎng)地內(nèi),不得露天放置,放置場(chǎng)所做好地面的硬化防腐,并設(shè)置明顯的標(biāo)志。危險(xiǎn)固廢委托有資質(zhì)的公司處置,一般固廢環(huán)衛(wèi)部門(mén)清運(yùn)處理。

實(shí)現(xiàn)資源化、減量化、無(wú)害化

五、建設(shè)項(xiàng)目對(duì)環(huán)境可能造成影響的概述

1、大氣環(huán)境影響結(jié)論

      根據(jù)估算模式,本項(xiàng)目大氣評(píng)價(jià)等級(jí)為二級(jí),無(wú)需進(jìn)一步預(yù)測(cè)。根據(jù)估算結(jié)果可知:本項(xiàng)目排放的氨氣、HF、NOx、PM10、HCl等最大濃度占標(biāo)率均小于10%,沒(méi)有超出標(biāo)準(zhǔn)限值,本項(xiàng)目無(wú)需設(shè)置大氣防護(hù)距離。

      因此,本次評(píng)價(jià)認(rèn)為本項(xiàng)目大氣環(huán)境影響可以接受。

2、地表水環(huán)境影響結(jié)論

      根據(jù)調(diào)查,建設(shè)項(xiàng)目區(qū)域污水管網(wǎng)完善,具備納管可行性。本項(xiàng)目實(shí)施后全廠廢水(含在建項(xiàng)目)產(chǎn)生量約7865.6t/d<8400t/d,現(xiàn)有末端污水處理站處理能力能夠滿足本項(xiàng)目實(shí)施后需求。本項(xiàng)目新增廢水排放量約938.6t/d,蕭山臨江污水處理廠目前處理水量約29萬(wàn)t/d,現(xiàn)有處理能力50萬(wàn)t/d,可滿足本項(xiàng)目的處理水量。臨江污水處理廠近期運(yùn)行監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)能夠符合標(biāo)準(zhǔn),污水廠運(yùn)行情況良好。綜上分析,項(xiàng)目廢水納管在時(shí)間、空間容量上均可行,不會(huì)對(duì)污水處理廠的運(yùn)行造成不利影響。

3、聲環(huán)境影響結(jié)論

      根據(jù)預(yù)測(cè)分析,本項(xiàng)目對(duì)主要噪聲源采取措施后,各側(cè)廠界的晝夜噪聲預(yù)測(cè)值均可以達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)3類標(biāo)準(zhǔn),即晝間≤65dB,夜間≤55dB,對(duì)周邊環(huán)境影響不大。同時(shí),本項(xiàng)目實(shí)施后,敏感點(diǎn)距離廠界較遠(yuǎn),經(jīng)距離衰減后基本無(wú)影響,不會(huì)造成噪聲擾民的情況。

4、固廢影響結(jié)論

      根據(jù)工程分析本項(xiàng)目新增固體廢棄物主要包括廢過(guò)濾材料、廢機(jī)油、沾染?;返膹U包裝材料、新增含氟廢水處理污泥、新增其他廢水處理污泥、新增生化污泥等。危險(xiǎn)廢物可委托有資質(zhì)單位無(wú)害化處置,一般固廢綜合利用等。在廠內(nèi)按《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及修改單、《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18599-2020)要求規(guī)范貯存。綜上所述,只要嚴(yán)格執(zhí)行本報(bào)告中提出的各項(xiàng)固廢處置措施,本項(xiàng)目固廢均能得到有效處置,實(shí)現(xiàn)零排放,對(duì)環(huán)境的影響較小。

5、土壤環(huán)境影響結(jié)論

      總體來(lái)說(shuō),在企業(yè)廢氣治理設(shè)施正常運(yùn)行,且應(yīng)切實(shí)落實(shí)廢水的收集、輸送以及各類危化品和固廢的貯存工作,做好各類設(shè)施及地面的防腐、防滲措施,加強(qiáng)廢氣治理設(shè)施運(yùn)行維護(hù),在此基礎(chǔ)上,本項(xiàng)目的建設(shè)對(duì)土壤環(huán)境影響整體是可接受的。

6、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)影響分析結(jié)論

      只要生產(chǎn)過(guò)程控制合理,操作工培訓(xùn)到位,設(shè)備成熟可靠,各專業(yè)在設(shè)計(jì)中嚴(yán)格執(zhí)行各專業(yè)有關(guān)規(guī)范中的安全環(huán)保條款,正常情況下能夠保證安全生產(chǎn)和達(dá)到工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的要求。通過(guò)采取風(fēng)險(xiǎn)管理中提出的各項(xiàng)措施,企業(yè)可有效的防止泄漏、火災(zāi)、爆炸等事故的發(fā)生,一旦發(fā)生事故,依靠廠內(nèi)的安全防護(hù)設(shè)施和事故應(yīng)急措施也可及時(shí)控制事故,防止事故的蔓延。因此,只要嚴(yán)格遵守各項(xiàng)安全操作規(guī)程和制度,加強(qiáng)安全管理,正常生產(chǎn)情況下企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)程度屬于可接受水平。

六、征求公眾意見(jiàn)的主要事項(xiàng)

      為征求擬建地周邊公眾對(duì)杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目有關(guān)環(huán)境保護(hù)工作的意見(jiàn)和建議,特將本工程公示,征求公眾的寶貴意見(jiàn)和建議。

(1)公眾對(duì)本項(xiàng)目是否認(rèn)可;

(2)公眾就本項(xiàng)目建設(shè)對(duì)周圍環(huán)境影響的意見(jiàn);

(3)公眾對(duì)本項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)工作的建議。

七、公眾提出意見(jiàn)的主要方式

       采取項(xiàng)目周邊村莊公示欄張貼公示的形式。公眾可通過(guò)向公示指定地址發(fā)送信函、傳真、撥打電話等方式,發(fā)表對(duì)杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目的建設(shè)及環(huán)評(píng)工作的意見(jiàn)和看法,如需查閱環(huán)評(píng)報(bào)告初稿,可撥打企業(yè)或環(huán)評(píng)單位電話索取。

       公示時(shí)間:2022年6月6日~2022年6月17日(雙休日除外),共10個(gè)工作日。

       征求公眾意見(jiàn)時(shí)間:2022年6月6日~2022年6月17日(雙休日除外),共10個(gè)工作日。

       環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位將在本工程《環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》中真實(shí)記錄公眾的意見(jiàn)和建議,并將公眾的寶貴意見(jiàn)、建議向工程的建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位和有關(guān)部門(mén)反映。

       [注]:請(qǐng)公眾在發(fā)表意見(jiàn)的同時(shí)盡量提供詳盡的聯(lián)系方式。


公告發(fā)布單位:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司

公告發(fā)布時(shí)間:二〇二二年六月二日