杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目擬在杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)杭州中欣晶圓現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)實(shí)施,根據(jù)《浙江省建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理辦法》及《環(huán)境影響評(píng)價(jià)公眾參與暫行辦法》的規(guī)定,對(duì)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)進(jìn)行公示。
一、聯(lián)系單位情況
1、建設(shè)單位名稱及聯(lián)系方式
單位名稱:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
單位地址:杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)
聯(lián)系人:劉工 聯(lián)系電話:15068745682
2、環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位名稱和聯(lián)系方式
環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位:浙江九寰環(huán)??萍加邢薰?/p>
地址:杭州市西湖區(qū)文一路202號(hào) 郵編:310012
聯(lián)系電話:13646836516 郵箱:774198362@qq.com
3、審批部門(mén)聯(lián)系方式
單位名稱:杭州市生態(tài)環(huán)境局錢(qián)塘分局受理中心
單位地址:杭州錢(qián)塘新區(qū)江東大道3899號(hào)大江東辦事服務(wù)中心3樓
聯(lián)系電話:0571-82987912 傳真:0571-82987920
二、項(xiàng)目基本情況
1、項(xiàng)目名稱:8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目;
2、項(xiàng)目性質(zhì):技改;
3、建設(shè)單位:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司;
4、項(xiàng)目投資:102059萬(wàn)元;
5、項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn):杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào)杭州中欣晶圓現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi);
6、建設(shè)規(guī)模與內(nèi)容:本項(xiàng)目不新增產(chǎn)能。本次主要技改內(nèi)容如下:①通過(guò)引入自動(dòng)倉(cāng)庫(kù)管理系統(tǒng)、洗凈機(jī)自動(dòng)上下料系統(tǒng)、自動(dòng)檢查臺(tái)等先進(jìn)軟硬件設(shè)備,對(duì)現(xiàn)有8英寸生產(chǎn)線工藝進(jìn)行改進(jìn),提高生產(chǎn)效率及產(chǎn)品品質(zhì);②購(gòu)置AP-CVD、LP-CVD、氬退火爐等設(shè)備,在原來(lái)12英寸生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上,增加氧化硅背封拋光片(重?fù)剑⒍嗑П撤鈷伖馄ㄖ負(fù)剑?、氬氣退火拋光片(輕摻)等產(chǎn)品規(guī)格;③新增一套制氮系統(tǒng);④現(xiàn)有氨水、雙氧水、混酸等儲(chǔ)存方式由桶裝改為儲(chǔ)罐裝。
三、敏感點(diǎn)目標(biāo)分布:
本項(xiàng)目周邊敏感點(diǎn)目標(biāo)分布情況匯總?cè)缦卤恚?/p>
表1 本項(xiàng)目周邊敏感點(diǎn)目標(biāo)分布情況
類別 | 保護(hù)目標(biāo)名稱 | UTM坐標(biāo)/m | 保護(hù) 對(duì)象 | 保護(hù)內(nèi)容 | 環(huán)境功能區(qū) | 相對(duì)廠址方位 | 相對(duì)廠界距離/m | |
X | Y | |||||||
大氣 環(huán)境 | 新江村 | 255895.5 | 3360599.3 | 居民區(qū) | 約2265人 | 二類空氣環(huán)境功能區(qū) | 西側(cè) | 1600 m |
江東村 | 255872.8 | 3358847.9 | 居民區(qū) | 約2229人 | 西南側(cè) | 1970 m | ||
浪琴灣住宅區(qū) | 258432.4 | 3358086.4 | 居民區(qū) | 約3000人 | 南側(cè) | 2500 m | ||
春雷村 | 260164.4 | 3358733.6 | 居民區(qū) | 約1998人 | 東南側(cè) | 2030 m | ||
春園村 | 260549.9 | 3357788.4 | 居民區(qū) | 約843人 | 東南側(cè) | 2740 m | ||
環(huán)境 風(fēng)險(xiǎn) | 新江村 | 255895.5 | 3360599.3 | 居民區(qū) | 約2265人 | / | 西側(cè) | 1600 m |
江東村 | 255872.8 | 3358847.9 | 居民區(qū) | 約2229人 | 西南側(cè) | 1970 m | ||
浪琴灣住宅區(qū) | 258432.4 | 3358086.4 | 居民區(qū) | 約3000人 | 南側(cè) | 2500 m | ||
春雷村 | 260164.4 | 3358733.6 | 居民區(qū) | 約1998人 | 東南側(cè) | 2030 m | ||
春園村 | 260549.9 | 3357788.4 | 居民區(qū) | 約843人 | 東南側(cè) | 2740 m | ||
江東幼兒園 | 255352.2 | 3359501.9 | 學(xué)校 | 約200人 | 西南側(cè) | 2750 m | ||
新圍初級(jí)中學(xué) | 255306.6 | 3358113.0 | 學(xué)校 | 約1000人 | 西南側(cè) | 3600 m | ||
錢(qián)塘區(qū)政府 | 258478.8 | 3357503.2 | 辦公 | 約300人 | 南側(cè) | 2960 m | ||
義蓬第三小學(xué) | 260749.6 | 3358045.7 | 學(xué)校 | 約500人 | 東南側(cè) | 3640 m | ||
地表水 | 錢(qián)江直河 | / | / | / | / | IV類水環(huán)境功能區(qū) | 東側(cè) | 緊鄰 |
七橫河 | / | / | / | / | 南側(cè) | 緊鄰 | ||
聲環(huán)境 | 廠址周圍200m范圍內(nèi)無(wú)聲環(huán)境敏感點(diǎn) | 3類聲環(huán)境功能區(qū) | / | / | ||||
土壤 | 廠址周圍200m范圍內(nèi)周圍耕地 | / | / | / |
四、污染防治措施情況:
本項(xiàng)目所采取的主要污染防治措施匯總情況見(jiàn)表2。
表2 本項(xiàng)目主要污染防治措施匯總表
內(nèi)容 類型 | 主要內(nèi)容 | 預(yù)期治理效果 | ||
廢氣 | CP清洗廢氣、FBA2車間新增氨水罐呼吸廢氣 | 一級(jí)酸洗后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA001 | 《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93 | |
FBA2車間新增混酸儲(chǔ)罐呼吸廢氣 | 一級(jí)堿噴淋后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA003 | 《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996) | ||
CVD反應(yīng)廢氣、CVD反應(yīng)倉(cāng)清洗廢氣、退火爐托盤(pán)及爐管清洗廢氣 | 一級(jí)堿噴淋+一級(jí)氧化反應(yīng)塔+二級(jí)還原反應(yīng)塔處理后經(jīng)42m高高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA008 | 《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996) | ||
FBA1車間新增氨水罐呼吸廢氣 | 一級(jí)酸洗后經(jīng)42m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA009 | 《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93 | ||
端面處理廢氣、AP-CVD托盤(pán)清洗廢氣 | 一級(jí)堿噴淋后經(jīng)42m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA010 | 《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996) | ||
污水站廢氣 | 一級(jí)酸噴淋+一級(jí)堿噴淋后經(jīng)36m高排氣筒排放,排放口編號(hào)DA016 | 《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93 | ||
廢水 | 酸堿廢水 | 酸堿廢水預(yù)處理 | 分別經(jīng)預(yù)處理后進(jìn)入末端生化處理設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)納管排入臨江污水處理廠 | 《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)中表1間接排放限值 |
含氨廢水 | 含氨廢水預(yù)處理 | |||
研磨廢水 | 研磨廢水預(yù)處理 | |||
含氟廢水 | 含氟廢水預(yù)處理 | |||
其他廢水 | / | |||
地下水 | 做好分區(qū)防滲工作 | 防治地下水污染 | ||
噪聲 | 設(shè)備選型時(shí),選擇低噪聲設(shè)備; 設(shè)備安裝在室內(nèi),為振動(dòng)設(shè)置減震基礎(chǔ),隔聲罩等 | 廠界達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中3類標(biāo)準(zhǔn) | ||
固廢 | 各類廢物收集后暫存在暫存場(chǎng)地內(nèi),不得露天放置,放置場(chǎng)所做好地面的硬化防腐,并設(shè)置明顯的標(biāo)志。危險(xiǎn)固廢委托有資質(zhì)的公司處置,一般固廢環(huán)衛(wèi)部門(mén)清運(yùn)處理。 | 實(shí)現(xiàn)資源化、減量化、無(wú)害化 |
五、建設(shè)項(xiàng)目對(duì)環(huán)境可能造成影響的概述
1、大氣環(huán)境影響結(jié)論
根據(jù)估算模式,本項(xiàng)目大氣評(píng)價(jià)等級(jí)為二級(jí),無(wú)需進(jìn)一步預(yù)測(cè)。根據(jù)估算結(jié)果可知:本項(xiàng)目排放的氨氣、HF、NOx、PM10、HCl等最大濃度占標(biāo)率均小于10%,沒(méi)有超出標(biāo)準(zhǔn)限值,本項(xiàng)目無(wú)需設(shè)置大氣防護(hù)距離。
因此,本次評(píng)價(jià)認(rèn)為本項(xiàng)目大氣環(huán)境影響可以接受。
2、地表水環(huán)境影響結(jié)論
根據(jù)調(diào)查,建設(shè)項(xiàng)目區(qū)域污水管網(wǎng)完善,具備納管可行性。本項(xiàng)目實(shí)施后全廠廢水(含在建項(xiàng)目)產(chǎn)生量約7865.6t/d<8400t/d,現(xiàn)有末端污水處理站處理能力能夠滿足本項(xiàng)目實(shí)施后需求。本項(xiàng)目新增廢水排放量約938.6t/d,蕭山臨江污水處理廠目前處理水量約29萬(wàn)t/d,現(xiàn)有處理能力50萬(wàn)t/d,可滿足本項(xiàng)目的處理水量。臨江污水處理廠近期運(yùn)行監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)能夠符合標(biāo)準(zhǔn),污水廠運(yùn)行情況良好。綜上分析,項(xiàng)目廢水納管在時(shí)間、空間容量上均可行,不會(huì)對(duì)污水處理廠的運(yùn)行造成不利影響。
3、聲環(huán)境影響結(jié)論
根據(jù)預(yù)測(cè)分析,本項(xiàng)目對(duì)主要噪聲源采取措施后,各側(cè)廠界的晝夜噪聲預(yù)測(cè)值均可以達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)3類標(biāo)準(zhǔn),即晝間≤65dB,夜間≤55dB,對(duì)周邊環(huán)境影響不大。同時(shí),本項(xiàng)目實(shí)施后,敏感點(diǎn)距離廠界較遠(yuǎn),經(jīng)距離衰減后基本無(wú)影響,不會(huì)造成噪聲擾民的情況。
4、固廢影響結(jié)論
根據(jù)工程分析本項(xiàng)目新增固體廢棄物主要包括廢過(guò)濾材料、廢機(jī)油、沾染?;返膹U包裝材料、新增含氟廢水處理污泥、新增其他廢水處理污泥、新增生化污泥等。危險(xiǎn)廢物可委托有資質(zhì)單位無(wú)害化處置,一般固廢綜合利用等。在廠內(nèi)按《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及修改單、《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18599-2020)要求規(guī)范貯存。綜上所述,只要嚴(yán)格執(zhí)行本報(bào)告中提出的各項(xiàng)固廢處置措施,本項(xiàng)目固廢均能得到有效處置,實(shí)現(xiàn)零排放,對(duì)環(huán)境的影響較小。
5、土壤環(huán)境影響結(jié)論
總體來(lái)說(shuō),在企業(yè)廢氣治理設(shè)施正常運(yùn)行,且應(yīng)切實(shí)落實(shí)廢水的收集、輸送以及各類危化品和固廢的貯存工作,做好各類設(shè)施及地面的防腐、防滲措施,加強(qiáng)廢氣治理設(shè)施運(yùn)行維護(hù),在此基礎(chǔ)上,本項(xiàng)目的建設(shè)對(duì)土壤環(huán)境影響整體是可接受的。
6、環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)影響分析結(jié)論
只要生產(chǎn)過(guò)程控制合理,操作工培訓(xùn)到位,設(shè)備成熟可靠,各專業(yè)在設(shè)計(jì)中嚴(yán)格執(zhí)行各專業(yè)有關(guān)規(guī)范中的安全環(huán)保條款,正常情況下能夠保證安全生產(chǎn)和達(dá)到工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的要求。通過(guò)采取風(fēng)險(xiǎn)管理中提出的各項(xiàng)措施,企業(yè)可有效的防止泄漏、火災(zāi)、爆炸等事故的發(fā)生,一旦發(fā)生事故,依靠廠內(nèi)的安全防護(hù)設(shè)施和事故應(yīng)急措施也可及時(shí)控制事故,防止事故的蔓延。因此,只要嚴(yán)格遵守各項(xiàng)安全操作規(guī)程和制度,加強(qiáng)安全管理,正常生產(chǎn)情況下企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)程度屬于可接受水平。
六、征求公眾意見(jiàn)的主要事項(xiàng)
為征求擬建地周邊公眾對(duì)杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目有關(guān)環(huán)境保護(hù)工作的意見(jiàn)和建議,特將本工程公示,征求公眾的寶貴意見(jiàn)和建議。
(1)公眾對(duì)本項(xiàng)目是否認(rèn)可;
(2)公眾就本項(xiàng)目建設(shè)對(duì)周圍環(huán)境影響的意見(jiàn);
(3)公眾對(duì)本項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)工作的建議。
七、公眾提出意見(jiàn)的主要方式
采取項(xiàng)目周邊村莊公示欄張貼公示的形式。公眾可通過(guò)向公示指定地址發(fā)送信函、傳真、撥打電話等方式,發(fā)表對(duì)杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司8英寸、12英寸生產(chǎn)線升級(jí)改造項(xiàng)目的建設(shè)及環(huán)評(píng)工作的意見(jiàn)和看法,如需查閱環(huán)評(píng)報(bào)告初稿,可撥打企業(yè)或環(huán)評(píng)單位電話索取。
公示時(shí)間:2022年6月6日~2022年6月17日(雙休日除外),共10個(gè)工作日。
征求公眾意見(jiàn)時(shí)間:2022年6月6日~2022年6月17日(雙休日除外),共10個(gè)工作日。
環(huán)境影響評(píng)價(jià)單位將在本工程《環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》中真實(shí)記錄公眾的意見(jiàn)和建議,并將公眾的寶貴意見(jiàn)、建議向工程的建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位和有關(guān)部門(mén)反映。
[注]:請(qǐng)公眾在發(fā)表意見(jiàn)的同時(shí)盡量提供詳盡的聯(lián)系方式。
公告發(fā)布單位:杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
公告發(fā)布時(shí)間:二〇二二年六月二日