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中欣晶圓應(yīng)邀出席第三屆中國(guó)半導(dǎo)體大硅片論壇,并發(fā)表關(guān)于12寸COP-FREE硅片的技術(shù)演講
2020.11.09

關(guān)于第三屆中國(guó)大硅片論壇

中國(guó)大硅片論壇由亞化咨詢主辦,今年是該論壇的第三屆,之前的兩屆分別在蘇州和徐州召開(kāi),獲得了業(yè)內(nèi)非常廣泛的關(guān)注,而今年的會(huì)議地點(diǎn)在南京。本次論壇邀請(qǐng)到了多家中國(guó)大硅片企業(yè)和日本半導(dǎo)體材料商參與,其中包括中欣晶圓、合晶、黃河水電、南京晶能、日本愛(ài)斯佩克等等。探討了全球以及中國(guó)半導(dǎo)體大硅片市場(chǎng)的供需關(guān)系;大硅片項(xiàng)目的技術(shù)規(guī)劃與建設(shè)進(jìn)展;供需與價(jià)格趨勢(shì);也包含大硅片制造技術(shù)與相關(guān)材料、設(shè)備等多方面的話題。現(xiàn)場(chǎng)吸引到了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)供應(yīng)商的業(yè)內(nèi)人士參與,論壇規(guī)??涨啊?/span>


中欣晶圓發(fā)表關(guān)于12寸COP-FREE大硅片的技術(shù)演講

中欣晶圓作為此次的特邀演講嘉賓,分享了關(guān)于12寸大硅片COP-FREE的相關(guān)技術(shù)演講。
隨著中美貿(mào)易戰(zhàn)的加劇,美國(guó)政府對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制也越來(lái)越多。從而使得中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)替代成為了一個(gè)越來(lái)越急迫的話題。如何解決“卡脖子”的技術(shù)問(wèn)題,對(duì)于每一個(gè)半導(dǎo)體人來(lái)說(shuō)都尤為重要。
中欣晶圓作為國(guó)產(chǎn)大硅片的領(lǐng)軍企業(yè)之一,在前期做了非常多的關(guān)于12寸大硅片的技術(shù)研究。眾所周知,12寸的應(yīng)用領(lǐng)域多為存儲(chǔ)器件,而存儲(chǔ)器件對(duì)所使用的輕摻拋光片要求非常之高。這其中的一個(gè)主要技術(shù)難點(diǎn)就在于如何做出12寸的COP-FREE大硅片。
得益于中欣晶圓從長(zhǎng)晶一直到成片的全流程覆蓋,可以從源頭上——也就是長(zhǎng)晶階段,就開(kāi)始進(jìn)行技術(shù)上的突破。從根本上來(lái)說(shuō),12寸COP-FREE拋光片的難點(diǎn)就在于長(zhǎng)晶階段。所以中欣通過(guò)一系列的研究,對(duì)長(zhǎng)晶爐的熱場(chǎng)進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),從根本上抑制了COP的產(chǎn)生,從而為COP-FREE硅片的生產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
誠(chéng)然,一片完美的12寸晶圓片除了需要抑制COP以外,也同樣需要滿足各類其他的參數(shù)要求,中欣晶圓通過(guò)一系列的技術(shù)手段和先進(jìn)的生產(chǎn)工藝流程,保證了平坦度、翹曲度、厚度、表面金屬等各項(xiàng)指標(biāo)的穩(wěn)定和優(yōu)異品質(zhì),從而滿足客戶在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)高品質(zhì)硅片的需求。
整場(chǎng)演講也受到了現(xiàn)場(chǎng)觀眾非常積極的反饋和評(píng)價(jià),眾多的與會(huì)嘉賓對(duì)中欣的一些技術(shù)細(xì)節(jié)和加工流程進(jìn)行了探討和交流。


關(guān)于中欣晶圓

2020年,經(jīng)過(guò)Ferrotec集團(tuán)內(nèi)部調(diào)整,杭州中欣整合旗下寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司及上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司的業(yè)務(wù),中欣晶圓三地工廠實(shí)現(xiàn)了從半導(dǎo)體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導(dǎo)體晶圓片加工的完整生產(chǎn)?,F(xiàn)擁有9條8英寸生產(chǎn)線、2條技術(shù)成熟的12英寸生產(chǎn)線,具備年產(chǎn)能240萬(wàn)片/300mm、480萬(wàn)片/200mm、480萬(wàn)片/150mm,致力于成為全球半導(dǎo)體晶圓片的主力供應(yīng)商之一,打破國(guó)外公司對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓片市場(chǎng)長(zhǎng)期壟斷的局面,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體硅材料行業(yè)真正的“中國(guó)智造”。
同時(shí)公司引入了國(guó)外半導(dǎo)體管理及技術(shù)專家團(tuán)隊(duì),管理和技術(shù)骨干人員均有多年的半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司通過(guò)了IATF16949、ISO9001、ISO14001、ISO45001等體系認(rèn)證,是浙江省高新技術(shù)企業(yè)之一。
依托于國(guó)際技術(shù)團(tuán)隊(duì)和源于日本的生產(chǎn)管理系統(tǒng),中欣晶圓可以為各類半導(dǎo)體集成電路和分立器件提供基礎(chǔ)性原材料——包含4、5、6、8、12英寸半導(dǎo)體單晶硅拋光片(重?fù)缴?、銻、硼、紅磷,輕摻硼、磷)以及12寸外延片。高純度單晶硅經(jīng)過(guò)拉晶、線切割、磨片、拋光、洗凈等工序,可制成具有特定厚度、參數(shù)值的半導(dǎo)體拋光片,并可根據(jù)客戶需求,生產(chǎn)各種不同電阻率的產(chǎn)品。
中欣晶圓的半導(dǎo)體單晶硅拋光片及外延片廣泛應(yīng)用于消費(fèi)類電子、通訊設(shè)備、個(gè)人電腦和服務(wù)器、汽車電子等傳統(tǒng)領(lǐng)域,同時(shí)也為云存儲(chǔ)和云計(jì)算、智慧交通、智慧醫(yī)療、AIoT、智慧工業(yè)等眾多新興領(lǐng)域的發(fā)展提供助力。